28200＆88200系列矩形真空板阀
28200＆88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
28200＆88200系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
28200＆88200系列矩形真空板阀技术参数
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连接形式：
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标准或定制法兰
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主体材料：
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304 不锈钢/ AM-350
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公称通径：
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DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
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漏率:
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2x10E-9 AtmCC/Sec
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压力范围:
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1x10E-9 Torr
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烘烤温度:
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《150℃
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适用介质：
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水、蒸汽、空气
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密封形式：
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软密封型
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驱动方式：
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气动
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使用寿命:
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1000000 启闭次数
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28200＆88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
28200＆88200系列矩形真空板阀部件图
